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美國api XD3LS激光干涉儀

  • 更新時(shí)間:2020-02-26
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美國api XD3LS激光干涉儀
XD-3D激光干涉儀有一個(gè)先進(jìn)緊湊的激光頭(內置控制器)。激光頭在測量安裝上非常方便,用戶(hù)可以直接將它安裝在機床上,靈活的安裝方式給予用戶(hù)很大的靈活性。該系統的主要部件有激光頭(包括干涉鏡組、激光控制部件和以太網(wǎng)通信模塊、電源)、環(huán)境傳感器(稱(chēng)為氣象站)、反射鏡(XD-3D配置).

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美國api XD3LS激光干涉儀

 

激光干涉儀 激光干涉儀介紹:

激光干涉儀 激光干涉儀,以激光波長(cháng)為已知長(cháng)度,利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長(cháng)度測量。介紹 激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來(lái)測量長(cháng)度的干涉儀,主要是以邁克爾遜干涉儀為主,并以穩頻氦氖激光為光源,構成一個(gè)具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來(lái)作線(xiàn)性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作,并可作為精密工具機或測量?jì)x器的校正工作。分類(lèi)激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發(fā)出的光束,經(jīng)擴束準直后由分光鏡分為兩路,并分別從固定反射鏡和可動(dòng)反射鏡反射回來(lái)會(huì )合在分光鏡上而產(chǎn)生干涉條紋。當可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線(xiàn)路等轉換為電脈沖信號,經(jīng)整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數,再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(cháng)(N 為電脈沖總數),算出可動(dòng)反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時(shí),要求周?chē)髿馓幱诜€定狀態(tài),各種空氣湍流都會(huì )引起直流電平變化而影響測量結果。雙頻激光干涉儀 在氦氖激光器上,加上一個(gè)約0.03特斯拉的軸向磁場(chǎng)。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應, 激光器產(chǎn)生1和2兩個(gè)不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經(jīng)1/4波片后成為兩個(gè)互相垂直的線(xiàn)偏振光,再經(jīng)分光鏡分為兩路。一路經(jīng)偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經(jīng)偏振分光鏡后又分為兩路:一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí),含有f2的光束經(jīng)可動(dòng)反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束,Δf是可動(dòng)反射鏡移動(dòng)時(shí)因多普勒效應產(chǎn)生的附加頻率,正負號表示移動(dòng)方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的,即波的頻率在波源或接受器運動(dòng)時(shí)會(huì )產(chǎn)生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來(lái)僅含有f1的光的光束經(jīng)偏振片2后會(huì )合成為f1-(f2±Δf)的測量光束。測量光束和上述參考光束經(jīng)各自的光電轉換元件、放大器、整形器后進(jìn)入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號。經(jīng)可逆計數器計數后,由電子計算機進(jìn)行當量換算(乘 1/2激光波長(cháng))后即可得出可動(dòng)反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來(lái)測量位移的,這種位移信息載于f1和f2的頻差上,對由光強變化引起的直流電平變化不敏感,所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長(cháng)機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度,也可用作測長(cháng)機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件,還可進(jìn)行高精度直線(xiàn)度測量、平面度測量和小角度測量。

API XD Laser激光干涉儀的組成:
XD Laser激光干涉儀是在LMS激光干涉儀的基礎.上進(jìn)行了改進(jìn)。將控制箱集成到激光頭里,將原先的有線(xiàn)數據傳輸改為全程無(wú)
線(xiàn)數據傳輸。因此、XD Laser激光干涉儀是由激光頭、傳感器、氣象站、筆記本電腦和連接整個(gè)系統的電纜組成。

XD Laser激光干涉儀技術(shù)綜述:
●1D激光主要可以測量定位誤差
●3D激光可以測星定位誤差、直線(xiàn)度誤差(雙向)
●5D/6D激光可以測星定位誤差、直線(xiàn)度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角

主要特點(diǎn):
一同時(shí)測量線(xiàn)性定位誤差、直線(xiàn)度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角
一設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
一可選的無(wú)線(xiàn)遙 控傳感器長(cháng)的控制距離可到25米
一可測星速度、 加速度、振動(dòng)等參數,并評估機床動(dòng)態(tài)特性。
-設計緊湊、體積小,測量機床時(shí)不需三角架
一集成干涉鏡與激光器于一體,簡(jiǎn)化了調整步驟,減少了調整時(shí)間

產(chǎn)品特點(diǎn):
1、XD-3D激光干涉儀有一個(gè)先進(jìn)緊湊的激光頭(內置控制器)。激光頭在測量安裝上非常方便,用戶(hù)可以直接將它安裝在機床上,靈活的安裝方式給予用戶(hù)很大的靈活性。該系統的主要部件有激光頭(包括干涉鏡組、激光控制部件和以太網(wǎng)通信模塊、電源)、環(huán)境傳感器(稱(chēng)為氣象站)、反射鏡(XD-3D配置).

2、API干涉儀激光頭、干涉鏡、控制器放在了主機一體,直接從主機出光配合反射鏡兩點(diǎn)調光的測量,其它廠(chǎng)家,激光頭、干涉鏡,反射鏡分成了三個(gè)部分,在調整一個(gè)線(xiàn)性上是三點(diǎn)對光的調整,*,兩點(diǎn)對光比三點(diǎn)對光更方便快捷。

3、XD-3D激光干涉儀一次安裝可以同時(shí)測量機床的多個(gè)參數,相比于傳統的激光干涉儀,測量中不需要更換鏡組,不要重新調整光路,大大提高了測量效率。

4、配垂直度附件的XD-3D系統,只需要兩次安裝,就可以得到兩根被測軸線(xiàn)各自的線(xiàn)性精度(定位精度、重復定位精度、反向間隙)、水平方向直線(xiàn)度、垂直方向直線(xiàn)度以及兩軸之間的垂直度共7個(gè)參數,節省測量時(shí)間80%以上。

5、XD-3D激光干涉儀做直線(xiàn)度測量的時(shí)候,可以同時(shí)測量被測導軌水平和豎直兩個(gè)方向的直線(xiàn)度??梢詫?shí)現準直儀的功能,利用其可以實(shí)現長(cháng)導軌安裝中直線(xiàn)度(水平和豎直)兩個(gè)方向的實(shí)時(shí)調整,調整過(guò)程中不受光路斷光的影響。

XD Laser被來(lái)自世界名地的API用戶(hù)用于:
、CMMICNC的校準、 補償
機床導軌平行度的測量
、旋轉額的測量
垂直度的測量
、對角線(xiàn)的測量
、CNC反饋
、機器人位置反饋:

 

 

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